新聲半導(dǎo)體突破性成果亮相IEEE IUS 2024國際會(huì)議:諧振器厚度補(bǔ)償技術(shù)顯著提升D-BAW晶圓均勻性與良率
來源:新聲半導(dǎo)體 作者:新聲半導(dǎo)體 時(shí)間:2025-04-17
2024年9月22-26日,在中國臺(tái)北舉行的IEEE IUS 2024國際會(huì)議上,新聲半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)發(fā)布了題為 《D-Baw Uniformity Improvement by Resonator Thickness Compensation》 的重要研究成果,并做口述報(bào)告。
該研究通過創(chuàng)新的工藝流程,實(shí)現(xiàn)了對(duì)D-BAW(雙面鍵合體聲波技術(shù))諧振器厚度的金屬電極厚度的創(chuàng)新性調(diào)控,在不影響濾波器性能的前提下顯著提升了全晶圓的性能均勻性,最終實(shí)現(xiàn)晶圓良率的顯著提高,為FBAR濾波器的大規(guī)模量產(chǎn)提供了突破性解決方案。
隨著5G向毫米波頻段演進(jìn)及6G技術(shù)萌芽,新聲半導(dǎo)體憑借創(chuàng)新的諧振器厚度補(bǔ)償技術(shù),成功突破D-BAW濾波器量產(chǎn)一致性的瓶頸,為5G/6G基站射頻前端和車載雷達(dá)系統(tǒng)提供了更可靠、更具成本競(jìng)爭力的解決方案。
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深圳新聲半導(dǎo)體有限公司自2020年3月啟動(dòng)籌備,2021年3月正式成立,是國家重點(diǎn)扶持的高新技術(shù)企業(yè)。公司在北京和上海分別設(shè)有研發(fā)中心,同時(shí)在深圳和西安設(shè)立了銷售與技術(shù)支持中心,并在蘇州設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。新聲半導(dǎo)體致力于設(shè)計(jì)與銷售各類濾波器,包括BAW、SAW、TC-SAW、TF-SAW、IPD等,提供從濾波器、雙工器、多工器到模組的全系列產(chǎn)品,覆蓋6GHz以下全頻段。
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IEEE IUS (IEEE International Ultrasonics Symposium,國際超聲研討會(huì)),是超聲技術(shù)領(lǐng)域最具影響力的國際學(xué)術(shù)會(huì)議之一。由 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Society (UFFC) 主辦,屬于IEEE的專業(yè)分會(huì)之一。是超聲領(lǐng)域發(fā)布前沿研究成果、交流技術(shù)進(jìn)展的核心平臺(tái),許多突破性技術(shù)在此首次公開。領(lǐng)域覆蓋:聚焦超聲技術(shù)及其應(yīng)用,包括醫(yī)學(xué)超聲、工業(yè)超聲、聲學(xué)傳感器、壓電材料、微納聲學(xué)器件等。
自20世紀(jì)50年代開始舉辦,每年一屆,吸引全球?qū)W術(shù)界和工業(yè)界專家參與,典型議題包括醫(yī)學(xué)超聲(如超聲成像、治療、造影劑)、工業(yè)檢測(cè)(如無損檢測(cè)、結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè))、MEMS/NEMS聲學(xué)器件(如超聲波傳感器、濾波器)、壓電與鐵電材料(如新型換能器設(shè)計(jì))。